熱式氣體流量計是根據介質熱傳遞原理制成的一種流量儀表,一般用來測量氣體的質量流量。它采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、可靠性高的技術。其典型傳感元件包括兩個熱電阻(鉑RTD)，一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。

  當兩個RTD被置于介質中時，其中速度傳感器被加熱到環境溫度以上的一個恒定的溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。流經速度傳感器的氣體質量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加，介質帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質的流速成正比。

  熱式氣體質量流量計主要用于測量以下介質：高爐煤氣，焦爐煤氣，煤氣，空氣，氮氣，乙炔，光氣，氫氣，天然氣，氮氣，液化石油氣，過氧化氫，煙道氣，甲烷，丁烷，氯氣，燃氣，沼氣，二氧化碳，氧氣，壓縮空氣，氬氣，甲苯，苯，二甲苯，硫化氫，二氧化硫，氨氣等各種氣體。

  根據被測物理量的不同可以有以下2種測量關系:1.利用流體流過加熱管道時產生的溫度場變化與流體質量流量的關系;2.利用加熱流體時流體溫度上升某一值所需要。