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光刻機
熱點快評：重大突破！我國拿到光刻機“入場券”(2020-11-16)
今年以來，美國連續發布的幾項禁令，讓我國芯片產業發展舉步維艱。禁令對于芯片技術和供應鏈的切斷，讓國內基本喪失了在高端芯片領域發展的能力。但這樣的局面并不會一直持續下去，11月14日，據央…[詳情]
國產超級光刻機火熱刷屏 核心技術突破刻不容緩(2018-12-05)
【中國儀表網儀表產業】近日，一篇名為《我國研制世界首臺分辨力最高紫外超分辨光刻裝備》的新聞報道在各大媒體瞬時刷屏，尤其是席卷了半導體領域，在相關業內人士的朋友圈、微博受到大量轉載。但該火熱…[詳情]
面對壟斷，自主研發光刻機實現國產化替代勢在必行(2017-08-14)
光刻機作為芯片生產中最核心的設備，是大陸芯片生產設備制造的最大短板。不少人會將光刻機和刻蝕機搞混，其實，光刻機的工作原理是用光將電路結構臨時“復制”到硅片上，而刻蝕機是按光刻…[詳情]
光電所研制出實用深紫外光刻機(2017-07-31)
近日，中國科學院光電技術研究所微電子專用設備研發團隊研制成功波長254nm的實用深紫外光刻機（Maskaligner），光刻分辨力達到500nm。 Maskaligner因使用方便、效率高、成本低，一直是使用面最廣、使用…[詳情]
光電所成功研制出實用深紫外光刻機(2017-07-28)
近日，中國科學院光電技術研究所微電子專用設備研發團隊研制成功波長254nm的實用深紫外光刻機(Maskaligner)，光刻分辨力達到500nm。 (a)設備外觀圖；(b)設備輸出光譜實測曲線 Maskaligner因使用方…[詳情]
光電所自主研制成功紫外納米壓印光刻機(2016-04-06)
近日，中國科學院光電技術研究所微電子專用設備研發團隊在微納制作設備領域再次發力，自主研制成功紫外納米壓印光刻機，其成本僅為國外同類設備的三分之一，推進我國微納實用制造水平邁上新的臺階。…[詳情]