近日，中國科學院光電技術研究所微電子專用設備研發團隊研制成功波長254nm的實用深紫外光刻機(Mask aligner)，光刻分辨力達到500nm。
 (a)設備外觀圖；(b)設備輸出光譜實測曲線
 　　Mask aligner因使用方便、效率高、成本低，一直是使用面最廣、使用數量最多的一種光刻設備。在現有的微納加工工藝中，光刻所采用的波段是決定光刻分辨力的重要因素之一。長期以來，國產Mask aligner均采用紫外波段(350nm至450nm)，分辨力只能做到1μm以上。而對于200nm至1μm的微納器件復制，只能采用進口紫外投影光刻機，200nm以下分辨力則只能采用進口深紫外投影光刻機。光電所該型設備的成功研制，填補了國內商用化深紫外光刻機的空白，可低成本解決500nm以上器件的高效復制，具有很好的社會經濟效益。
 　　光電所微電子專用設備研發團隊積極響應客戶需求，大膽創新，成功解決了低成本深紫外光源、深紫外高均勻性勻光技術、新型深紫外介質膜鍍膜技術以及非球面準直技術等諸多難點。該型設備僅需通過更換濾光模塊，便可實現紫外、中紫外波段、深紫外波段的相互切換。同時，該型設備以光電所URE-2000系列紫外光刻機為基臺(已經銷售550臺，其中出口30多臺)，配有高精度對準模塊、真空曝光模式、雙面曝光模式、納米壓印模式、接近式模式、數字設定曝光間隙等諸多功能供用戶選擇或定制，能滿足不同光刻工藝需求。該設備自動化程度高、操作十分方便、外形美觀。該型設備的成功研制，是光電所光刻機團隊將光刻工藝需求與設備研發緊密結合的產物，市場前景十分廣闊。
 　　光電所研發團隊還積極與潛在用戶單位進行需求溝通和工藝探索，利用中紫外波段(峰值波長310nm)在光敏玻璃(FOTURANII)上完成了高深寬比結構的制備直接光刻，設備已經銷售數臺，并與德國肖特(SCHOTT)公司達成合作協議。
 　　編輯點評
 　　深紫外光刻機具有使用方便、成本低、效率高的特點，一直是使用面最廣、使用數量最多的一種光刻設備。光電所該型設備的成功研制，填補了國內商用化深紫外光刻機的空白，可低成本解決500nm以上器件的高效復制，具有很好的社會經濟效益。未來，其市場應用前景將十分廣闊。