高低溫微型探針臺電信號測試的簡單介紹
高低溫微型探針臺電信號測試，可預留接口以備安裝電子閥及流量計之用，充入其它氣體使用，溫度范圍為77.15K至673.15K（-196攝氏度到400攝氏度）
高低溫微型探針臺電信號測試的詳細信息
高低溫微型探針臺電信號測試 高低溫探針臺系統達到≤10Pa即可進行低溫測試而無凝露或結霜。對于選用了入門級配置的用戶，可選用雙極旋片式機械泵即可達到目標真空度，從而減少設備的配置預算。對于真空度有更高要求的用戶，可選用分子泵組對系統進行抽真空。低溫探針臺系統可達10-3Pa。也可選配更高真空度的泵組，以滿足測試要求。 為了減少泵組的振動，我們還專門為用戶設計了隔振器，地衰減泵組工作時產生的振動，以確保系統的穩定，減少探針的漂移。
度
高低溫微型探針臺電信號測試 真空腔體 | 類型 | 高溫型室溫到350℃ | 高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃ | 腔體材質 | 304不銹鋼 6061鋁合金 可選 | 腔體內尺寸 | 127mmX57mmX20mm | 腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | 腔體重量 | 不銹鋼材質 約1.5KG 鋁合金材質 約0.5KG | 腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） | 腔體抽氣口 | KF16法蘭（其余接口規格可轉接） | 腔體真空測量口 | KF16法蘭（其余接口規格可轉接） | 腔體進氣口 | 6mm快擰 或 6mm快插 | 腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 | 腔體水冷接口 |
| 腔體正壓 | ≤0.05MPa | 腔體真空度 | 機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） | 樣品臺 | 樣品臺材質 | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 | 銀銅合金 純銀塊 | 樣品臺尺寸 | 26x26mm | 樣品臺加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱 液氮制冷 | 樣品臺-視窗 距離 | 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） | 樣品臺測溫傳感器 | PT100型熱電阻 | 樣品臺溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到400℃ 室溫到-196℃ | 樣品臺測溫誤差 | ±0.5℃ | 樣品臺升溫速率 | 高溫100℃/min 低溫7℃/min | 溫控儀 | 溫度顯示 | 7寸人機界面 | 溫控類型 | 標準PID溫控 +自整定 | 溫度分辨率 | 0.1℃ | 溫控精度 | ±0.5℃ | 溫度信號輸入類型 | PT100 （可選K S B型熱電偶） | 溫控輸出 | 直流線性電源加熱 | 直流線性電源加熱+液氮流速控制器 | 輔助功能 | 溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口 | 溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | 溫控器重量 | 約5.6KG | 探針 | 電信號接頭 | 配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米 | 電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | 探針數量 | 4探針（可擴展5探針） | 探針材質 | 鍍金鎢針 （其他材質可選） | 探針尖 | 10μm | 手動探針移動平臺 | X軸移動行程 | 20mm ±10mm（需手動推動滑臺） | X軸控制精度 | ≥500μm | R軸移動行程 | 120° ±60°（需手動旋轉探針桿） | R軸控制精度 | ≥500μm | Z軸移動行程 | 2mm ±1mm | Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動螺紋調節探針桿） |
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