新技術低溫等離子體中去除異味氣體的最主要的反應可分為電子、離子、自由基及分子碰撞反應4種。在電極間外加高壓高頻交變電流,表面生成微放電,同時誘導引發高電場,此高電場促使放電空間中的自由電子加速,此時電子在該電場中將被加速而獲足夠的能量(1～10eV),并與氣體分子撞擊進行激發、游離、解離、結合或再結合等反應,生成許多電子、離子、介穩態粒子及自由基等強高活性物種,常見的自由基如(・OH)、基態氧原子O(3P)、亞穩態氧原子O(1D)、HO2,這些高能、高活性物種可克服能階的障礙,使氣流中原本相當穩定的帶有異味的氣體分子斷鍵,促使氣態反應快速進行,并最終生成一氧化碳、二氧化碳和水排入環境。達到《大氣污染物綜合排放標準》(GB1629721996);《惡臭污染物排放二級標準》(GB1455421993);《環境空氣質量二級標準》(GB309521996)。

    低溫等離子廢氣處理設備對于煙草廢氣凈化具有整個放電由許多在空間和時間上隨機分布的微放電構成，每個微放電持續的時間很短，一般為納秒級，只需用電，操作極為簡單，無需派專職人員看守，基本不占用人工費，設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，不受外界氣溫的影響，氣阻小，適用于大風量的廢氣處理，具有電子密度高和可在(0.1～10)×105Pa的氣壓下進行的特點。