在廢氣處理設備中蓄熱式熱氧化燃燒凈化裝置根據催化燃燒機理，由催化室、電加熱箱、熱交換器、風機、電控柜五大部分組成。與傳統的催化燃燒、直燃式熱氧化爐(TO)相比，具有熱效率高(≥95%)、運行成本低、能處理大風量低濃度廢氣等特點，濃度稍高時，還可進行二次余熱回收，大大降低生產運營成本。

    廢氣處理設備適應的廢氣低濃度(低于30%LFL)、大風量;廢氣中含有多種有機成分、或有機成分經常發生變化;含有容易使催化劑中毒或活性衰退成分的廢氣;不適用于含有較多硅樹脂廢氣。

    當有機廢氣進入裝置首先到熱交換器，用催化燃燒后余熱通過熱交換器把有機廢氣溫度盡可能的提高，通常溫升Δt=50～60℃，然后送入到電加熱箱內，通過電熱管加熱到啟燃溫度，一般在200～250℃。達到溫度會自動關閉加熱系統，這時就進入催化箱內，進行催化燃燒反應，使有機廢氣氧化分解成二氧化碳和水，并且釋放大量的熱量。這時，當有機廢氣濃度一定量時，產生的余熱通過熱交換器后溫升已經達到啟燃溫度，這時催化燃燒裝置就達到動態熱平衡，這樣就節省大量的電熱功率。

    多槽式蓄熱氧化爐治理廢氣的性能特點：不產生NOx等二次污染;超低運行成本。當VOC濃度達到450ppm時，不需要額外的燃料消耗，如VOC濃度更高，還可進行二次余熱回收而大大降低生產成本;很高的VOC去除率。兩床設備達98%以上，三床設備超過99%;全自動控制，操作簡易，維護方便。

    在工業廢氣處理中多槽式蓄熱氧化爐氧化燒損的因素有：氧化速度開始增加，超過1000℃氧化燒損量成倍增加，加熱溫度的影響。在超過1000℃的情況下，停留時間越長，氧化鐵皮生成量就越大，加熱時間的影響。氧氣在高溫下很小的濃度就能夠造成鋼坯的氧化，由于FeO的分壓值很小，所以O2很容易使鐵氧化，爐內氣氛的影響。鋼坯入爐溫度的影響。