目前存在多種有機廢氣的處理工藝，如：冷凝法、吸收法、燃燒法、催化法、吸附法、生物法和等離子法等。

冷凝法是根據氣態污染物在不同的壓力和不同的溫度下具有不同的飽和蒸氣壓，可通過降低溫度和加大壓力使某些氣態污染物凝結成液體，達到凈化、回收的目的。冷凝法運行費用較高，適用于高濃度和高沸點VOCs的回收，對于低濃度有機廢氣此法不適用；單純的冷凝法往往不能達到規定的分離要求，故此方法常作為吸附、燃燒等凈化高濃度廢氣的預處理過程。

吸收法可分為化學吸收和物理吸收，大部分有機廢氣不宜采用化學吸收。物理吸收的吸收劑應具有與吸收組分有較高的親和力，低揮發性，同時還應具有較小的揮發性，吸收液飽和后經解析或精餾后重新使用。本法適合于中高濃度的廢氣，但要選擇一種廉價高效的低揮發性吸收液比較困難，需要同時考慮的因素包括溶解度、選擇性、揮發性、粘度、燃點、再生性及毒性等等，同時二次污染問題較難解決，凈化效果不理想，也常作為廢氣治理過程中的預處理過程，同時可起到冷卻降溫、預除塵的作用。

燃燒法亦稱為熱氧化法、熱力燃燒法，主要用于高濃度VOCs廢氣的凈化。對于自身不能燃燒的中低濃度尾氣，通常需助燃劑或加熱，能耗大，運行成本比催化燃燒法高10倍以上；運行技術要求高，不易控制與掌握。此法在國內基本上未獲推廣，僅有少數廠家引進國外治理設備應用于較高濃度和溫度的制罐印鐵業廢氣治理中，但終因能耗大及運行不穩定，難以正常運轉。

催化法的優點是催化燃燒為無焰燃燒，安全性好，本法的特點：起燃溫度低，節約能源；凈化率高，無二次污染；工藝簡單，操作方便，安全性好；裝置體積小，占地面積少；設備的維修與折舊費較低。該法適用于高溫、中高濃度的有機廢氣治理，國內外已有廣泛使用的經驗，效果良好。

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吸附法有一次性吸附、吸附-回收、吸附-催化燃燒等多種類型?；钚蕴课饺コ矢?，但一次性活性炭法要求經常更換活性炭以保證凈化效果，導致裝卸、運輸等過程中造成二次污染。吸附-回收法適用于對中、高濃度，中、小風量，有回收價值的廢氣進行治理，但若有機氣體成份復雜，回收后不能直接用于生產，需要再進行精餾、萃取、分離等后繼工作，不但造成二次污染，而且大大增加了治理成本。

生物法是基于成熟的生物處理污水技術上發展起來，具有能耗低、運行費用低的特點，在國外有一定規模的應用。其缺點在于污染物在傳質和消解過程中需要有足夠的停留時間，從而增大了設備的占地，同時由于微生物具有一定的耐沖擊負荷限值，增加了整個處理系統在啟停時的控制以及運行負荷。該法目前在國內污水站廢氣治理中有少量應用，對工業廢氣異味治理的應用很少。

利用等離子Plasma（ULAND等離子體）降解有機廢氣和、祛除惡臭、殺滅細菌、病毒、凈化空氣是國際上比較尖端的高新技術，國內外專家稱之為21世紀環境科學四大技術之一。該技術的關鍵是通過高壓脈沖介質阻擋放電的形式產生大量活性等離子體（等離子體），將氣體激活，產生各種活性自由基，如·OH、·HO2、·O等，對苯、甲苯、二甲苯、氨氣、烷烴類等有機廢氣發生降解、氧化等復雜的物理和化學反應，且副產物無毒，避免二次污染。該技術具有能耗極低，占地空間小，運行維護簡單等特點，特別是適用于多種組分有機氣體的處理。