真空探針臺的簡單介紹

真空探針臺的詳細信息

高低溫真空探針臺KT-Z1604TZ

真空探針臺可實現高真空環境下的高溫及低溫電學性能測量，真空腔一體成型，具有設計合理，真空度穩定，溫控精度及機械精度高等特點；根據測試溫度范圍不同，可單選高溫或低溫等相應組件，溫度可達到400℃，低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件，溫度可低至-190℃，；真空系統可選機械泵或分子泵系統，真空度可達到10-3Torr或10-6Tor。

高低溫真空探針臺應用：

可應用于低溫或高溫真空環境下被測樣品的電學性能測試分析，如：半導體/微電子，電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學研究領域，以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。

高低溫真空探針臺KT-Z1604TZ參數

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