設備名稱

小型蒸鍍儀

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

加熱方式

數字式功率調整器

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

最大功率

≤1200W

輸出電壓電流

電壓≤12V 電流≤120A

真空度

機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa

擋板類型

電控

真空腔室

透明玻璃腔體φ160mm x 160mm

樣品臺

可旋轉φ82 （可安裝φ70基底）

樣品臺轉速

8轉/分鐘

樣品濺射源調節距離

70-140mm

蒸發溫度調節

≤1800℃

支持蒸發坩堝類型

鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 陶瓷坩堝 石英石坩堝

預留真空接口

KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口

真空測量

皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa）

可選配擴展

1 機械真空泵（≤5Pa（5分鐘）

2 分子泵機組（可抽真空20分鐘≤5*10^-3Pa）

3 數顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa）