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產地：

規格：臺

公司所在地：河南鄭州

電話：15515545802

2262792302  
詳細信息

等離子表面處理機的簡單介紹

該清洗機內置高純石英倉體，容積為2升，結構為國際上的通用的真空石英法蘭密封結構。采用了新型的外觀結構設計和固態電源技術，使其有效容積增大，不同真空 氣體環境下容易匹配，且控制頻率穩定。

等離子表面處理機的詳細信息

KT-S2DQX 性能參數

供電電源

AC220V（AC110V可選)

工作電流

整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

控制方式

觸摸屏控制

射頻電源功率

150W（可調）

射頻頻率

13.56MHz

頻率偏移量

＜0.2MHz

特性阻抗

50歐姆，手動匹配

耦合方式

電容耦合式

真空度

≤100Pa

腔體材質

高純石英

腔體容積

2.2L(內徑110MMX深度240MM)

觀察窗內徑

Φ45

氣體流量

6-60 ml/min 10—100ml/min（其他量程可選）

過程控制

手動設定，自動控制

清洗時間

手動設定，自動啟停

開蓋方式

鉸鏈側開式法蘭

氣體路數

2路質量流量計

可通入氣體

氬氣、氧氣、氮氣、空氣、氫+氮氣(混合氣體）等


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