前級泵接口

KF25（客戶根據(jù)真空環(huán)境潔凈度要求自行安裝前級泵）

分子泵

FF-100/150 51000轉(zhuǎn)/分

分子泵抽氣速率

140L/S

分子泵啟動時間

≤2min

空載極限壓強(qiáng)

≤1X10-4Pa

真空測量方式

冷陰極標(biāo)準(zhǔn)規(guī)管

真空測量范圍

1E﹢2到1E-5 Pa

真空測量精度

1E-4到1E-5 Pa ±40%的讀數(shù) 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的讀數(shù) 重復(fù)性：　±5%

抽氣接口

KF25

閥門類型

KF25手動擋板閥

系統(tǒng)電源

AC220V

系統(tǒng)功率

≤750W

環(huán)境溫度

5~32℃

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷卻

濕度

≤80%RH

外形尺寸

250 X360 X 300mm （寬-深-高）

重量

25KG

隨機(jī)配件：KF25高真空擋板閥X1個 KF25卡箍X3個 kf25-1米不銹鋼波紋管x1根 說明書X1本 電源線x1根 冷陰極真空計X1個