近日，中科富海旗下子公司中科富氦（中山）氣體開發(fā)有限公司（以下簡稱“中科富氦”）氣體純化裝置成功投產(chǎn)，產(chǎn)出純度高達(dá)6N的超純氪氣、氙氣產(chǎn)品。

氪氣、氙氣在空氣中的含量極少，加之其分離提取工藝要求較高等原因，稱為“黃金氣體”。6N級(jí)超純氪氣、氙氣在國內(nèi)并不多見，其生產(chǎn)技術(shù)曾一度被國外企業(yè)壟斷。中科富氦采用先進(jìn)的精餾結(jié)合純化工藝流程和設(shè)備配置；其主要通過進(jìn)料排、精餾塔、純化器三套主要設(shè)備協(xié)同工作，使原料得以高效提純。此外，裝置還配備了膜壓機(jī)和真空泵等輔助設(shè)備，確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和高效性。最終實(shí)現(xiàn)將氪氙原料氣體從5N純度精餾提純至6N純度甚至更高。

該套裝置設(shè)計(jì)產(chǎn)能為氪氣6000Nm³/a和氙氣600Nm³/a，可充分滿足臺(tái)積電等高端客戶需求。未來，中科富氦將持續(xù)深耕低溫精餾和純化工藝，瞄準(zhǔn)7N純度標(biāo)準(zhǔn)不斷前進(jìn)，持續(xù)提升產(chǎn)品品質(zhì)和生產(chǎn)效率，以滿足日益增長的半導(dǎo)體行業(yè)需求。