薄膜沉積控制儀需要進行哪些保養工作

作者： 2019年04月29日來源：全球化工設備網瀏覽量：

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薄膜沉積控制儀在模塊化的基礎上建立了溫度測量薄膜控制系統，可以支持擴展4個輸入輸出口和探頭，實時的頻率-溫度曲線和500℃操作晶體。該儀器設有快速設定菜單、6個區分上下文按鈕以及一個簡便的參數設定旋鈕，易于

　　薄膜沉積控制儀在模塊化的基礎上建立了溫度測量薄膜控制系統，可以支持擴展4個輸入輸出口和探頭，實時的頻率-溫度曲線和500℃操作晶體。該儀器設有快速設定菜單、6個區分上下文按鈕以及一個簡便的參數設定旋鈕，易于設定和操作，用于開發、測試和下載過程的程序，以及用于將儀器數據記錄到PC進行過程分析與質量控制的程序的過程控制，尤其適用于低沉積速率，測量速率為每秒10個讀數，存儲容量可達100個過程、1000層薄膜、50種薄膜材料。

　　操作溫度超過1600F/710C時，不能進行測量，否則要損壞儀器，當環境溫度低于00C時,PH電極可能會損壞，千萬注意,不要超出規定溫度范圍，把儀器存放在熱源附近或在天氣炎熱的情況下，溫度很容易達到或超過1500F，這將導致儀器測量不準。

　　電極更換電極型號，確認薄膜沉積控制儀型號和序列號，以確保選擇正確的電極型號，每臺儀器都配有相應的電極型號。

　　電極清洗電導/TDS/電阻電導池盡可能保持干凈，用足量干凈水沖洗電極池可防止雜物聚集在電極上，但是很贓的溶液尤其是含鱗狀顆粒的溶液，很容易在電池中沉淀形成薄膜，這降低了測試的精確度，一旦形成油膜或有臟物沉積在電極上，就用普通的無腐蝕清洗劑清洗，并用清水潤洗干凈，就可以準確測試了。

　　電池的更換：擦干儀器表面，擰開后面四顆螺絲，小心打開后蓋，移走后蓋，把電池取下，并換上新的9V堿性電池，蓋上后蓋，擰緊螺絲。因為已安裝了不可擦除可讀存儲器，即使電源斷電或更換電池的過程中，存儲在記憶器中的記錄數據和校正更改設置并不會消失。

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