“微納結(jié)構(gòu)動態(tài)特性測試儀的開發(fā)和應(yīng)用”項目主要針對微納結(jié)構(gòu)與微機電系統(tǒng)(MEMS)器件動態(tài)特性測試的需求，突破高信噪比時空調(diào)制和自動調(diào)焦等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件國產(chǎn)化的微納結(jié)構(gòu)動態(tài)特性測試儀，開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫，實現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)與MEMS器件的振動頻率、模式模態(tài)等特性測量分析以及典型缺陷識別。上海市計量測試技術(shù)研究院承擔該項目中的“微納結(jié)構(gòu)動態(tài)特性測試儀性能評測方法研究”課題，將重點研究微納結(jié)構(gòu)標準振動模態(tài)激勵方法，搭建校準系統(tǒng)平臺，實現(xiàn)對激光測量系統(tǒng)關(guān)鍵參數(shù)的精確評價，并開展試驗驗證和關(guān)鍵參數(shù)的不確定度評定。

　　

　　“高精度三維螺紋綜合測量儀的開發(fā)和應(yīng)用”專項重點針對先進制造領(lǐng)域螺紋幾何參數(shù)的綜合性檢測需求，突破內(nèi)外螺紋三維掃描高精度測頭和三維參數(shù)高效重構(gòu)關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件國產(chǎn)化的高精度三維螺紋綜合測量儀，開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫，實現(xiàn)螺紋全參數(shù)的三維自動掃描檢測。上海市計量測試技術(shù)研究院承擔該項目中的“高精度三維螺紋綜合測量儀在普通螺紋領(lǐng)域的應(yīng)用開發(fā)”的課題，將重點探索和檢驗儀器在普通螺紋領(lǐng)域中的應(yīng)用，建立儀器應(yīng)用于普通螺紋領(lǐng)域的應(yīng)用方案，編寫數(shù)字化螺紋數(shù)據(jù)庫等。

　　

　　科學儀器設(shè)備是科學研究和技術(shù)創(chuàng)新的基石，是經(jīng)濟社會發(fā)展和國防安全的重要保障。我院依托2014年度重大科學儀器開發(fā)專項“跨尺度微納米測量儀的開發(fā)和應(yīng)用”的成功經(jīng)驗，積極組織科研團隊承擔重要課題任務(wù)，為提升我國科學儀器設(shè)備的自主創(chuàng)新能力，促進產(chǎn)業(yè)升級發(fā)展，支撐創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略的實施做出積極的貢獻。

　　

　　編輯點評

　　

　　上海市計量測試技術(shù)研究院機械制造所作為重要課題承擔單位積極參與申報兩項重大科學儀器開發(fā)專項，彰顯出上海計量院在計量行業(yè)的重要角色，同時體現(xiàn)了上海計量院在該領(lǐng)域領(lǐng)先的技術(shù)實力和領(lǐng)導(dǎo)地位。

　　

　　(原標題：我院積極參與兩項“重大科學儀器設(shè)備開發(fā)”重點專項申報)