多功能真空實驗儀（設計性、綜合性實驗） 型號：YQDH2010 貨號：ZH5500 
產品簡介
   實驗儀是一個真空實驗平臺，能夠很直觀反映真空獲得的全過程。由真空獲得部分、真空鍍膜機構和電控及儀表等部分組成，結構合理，運行安全可靠，適合于對學生開展真空實驗教學。在2008年第五屆全國高等學校物理實驗教學研討會物理儀器評比中榮獲三等獎。
可開設的實驗
1、真空的獲得與測量；
2、蒸發法薄膜制備 
主要技術特點
1、設備的真空反應室、油擴散泵、真空管路部件全透明；
2、電氣控制有安全防護，防止誤操作對操作人員和設備造成的損傷；
3、管路采用不銹鋼、真空橡膠管結合，閥門為電控雙向截止閥；真空室內有烘烤除氣裝置；
4、一機多用的功能，針對高校開展綜合性、設計性和開放性實驗的要求,預留有大空間的真空室，在配置一些組件后，就能方便開設其他擴展實驗項目。
主要技術參數
1、Ф230×255mm玻璃真空室；
2、采用機械泵、四級玻璃質油擴散泵兩級真空系統，擴散泵油量125~140ml，需水冷；
3、真空度：開機60分鐘后可達5×10-3Pa，極限真空度：9.6×10-4Pa；恢復真空時間＜40分鐘；
4、采用一對無氧銅電極蒸發電極，電極間距70mm，可選用鎢絲或鉬舟作蒸發源，蒸發電流調節范圍：0～150A
5、襯底可加熱，襯底加熱溫度范圍：室溫～200℃；
6、工作電壓：AC220V±5%，50Hz；整機功率：3kW；
7、工作環境要求：溫度低于30℃，濕度≤70％；水循環用戶自備。