光電所氣浮轉臺研制取得進展

作者： 2016年08月11日來源：瀏覽量：

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氣浮式轉臺是超精密機械中的一種典型結構，從誕生之日起就一直受到世人的關注，它為微光刻技術、數控加工、生物技術、納米表面形貌測量、高精密機床研發等領域提供一個能夠實現超精密定位、檢測和精確運動的載物平臺

　　氣浮式轉臺是超精密機械中的一種典型結構，從誕生之日起就一直受到世人的關注，它為微光刻技術、數控加工、生物技術、納米表面形貌測量、高精密機床研發等領域提供一個能夠實現超精密定位、檢測和精確運動的載物平臺，為開展超精密加工工藝技術研究拓展了領域，能解決高精度零件在加工、檢測等方面的難題。

　　中國科學院光電技術研究所精密機械制造中心借助部門多年的精密機械加工及裝配經驗，采用最優參數及合理的精度分配完成了前期的設計工作，搭建了氣浮轉臺精度檢測平臺，最終成功研制出一臺直徑200mm的氣浮轉臺，由此掌握了氣浮轉臺從設計到制造的全套技術。

　　在研究所專項基金支持下，精密機械制造中心2009年成立氣浮攻關團隊開展氣浮轉臺研制工作。研究團隊對高壓氣體的流動規律、壓力分布、轉臺精度分離方法等進行了充分研究。搭建節流器性能實驗平臺，研究其影響因素——高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節流器直徑、節流器數量、均壓槽深度等，找到了最優氣膜剛度時的參數區間。在氣浮轉臺研制上取得了關鍵技術突破，為高精度零件的加工與檢測、超精密加工工具的研制奠定了技術基礎。

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