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光電所在高精度平面絕對檢測研究中取得新進展

作者： 2016年06月08日來源：瀏覽量：

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中國科學院光電技術研究所先進光學研制中心在高精度平面絕對檢測研究中取得新進展：首次提出了一種通用的平面絕對檢測方法，該方法采用逆向迭代優化算法求解絕對檢測模型，具有簡單、快速、準確求解絕對面形的優勢。

　　中國科學院光電技術研究所先進光學研制中心在高精度平面絕對檢測研究中取得新進展：首次提出了一種通用的平面絕對檢測方法，該方法采用逆向迭代優化算法求解絕對檢測模型，具有簡單、快速、準確求解絕對面形的優勢。相關結果發表于近期的Optics Express。

　　在過去的數十年中，受空間光學、同步輻射裝置以及深紫外、極紫外光刻機等項目的驅動，高精度光學元件的需求日益增加。這些光學元件普遍要求光學面形檢測精度達到亞納米級（如0.1 nm RMS）的超高精度，并且要求實現像素分辨率的檢測。這給面形檢測提出了新的挑戰，使得高精度面形絕對檢測技術已成為國內外的研究熱點和前沿核心技術。

　　該研究針對面形數據中的每個數據點進行迭代優化求解，相對傳統澤尼克多項式擬合方法（低通濾波），可以實現像素分辨率的面形檢測，得到更多更全面的絕對面形數據。另外，研究提出的加速迭代算法可以大大降低計算成本和計算機內存需求。

幾種迭代優化算法迭代收斂速度對比

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