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紫外納米壓印光刻機(jī)
光電所自主研制成功紫外納米壓印光刻機(jī)(2016-04-06)
近日，中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所微電子專用設(shè)備研發(fā)團(tuán)隊(duì)在微納制作設(shè)備領(lǐng)域再次發(fā)力，自主研制成功紫外納米壓印光刻機(jī)，其成本僅為國外同類設(shè)備的三分之一，推進(jìn)我國微納實(shí)用制造水平邁上新的臺(tái)階。…[詳情]
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